产品详情
  • 产品名称:小口径气体质量流量计

  • 产品型号:WDR
  • 产品厂商:上海皖科
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简单介绍:
WDR系列小口径气体质量流量计采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。小口径气体质量流量计可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
详情介绍:

小口径气体质量流量计产品简介:

订购电话:18621131612  陈经理

WDR系列小口径气体质量流量计采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。

可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高精度,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
小口径气体质量流量计/流量控制器
低单价

环境温度补正


小口径气体质量流量计可应用的流率范围广:
0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容
小口径气体质量流量计用氮气(N2)标定。
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
功能 流量计/控制器
基本型号  WDR
满量程流量范围(N2) SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
  SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(%F.S) ±1(≤15SLM)
  ±1.5(>15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
  ±1.5%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
*大耐压 3MPa
介质接触材质 304,316,316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
  Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 1.0KG
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